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项目/类型 | AlN 氮化铝 | Si3N4 氮化硅 | 单位 |
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密度 Density | 3.3 | 3.22 | g/m3 |
热导率 Thermal Conductivity | >170 | 85 | W/m * K |
线膨胀系数 Coefficient of Thermal Expansion | 4.7 (20℃~300℃) | 2.7 (20℃~300℃) | * 10-6/K |
抗弯强度 Bending Strength (Σ0,M>10) | >350 | >700 | MPa |
介质损耗 Dielectric Loss | 0.0005 | 0.0005 | 1MHz |
介电常数 Dielectric Constant | 9.0 | 8.0 | 1Mhz |
介电强度 Dielectric Strength | >15 | >15 | KV/mm |
体积电阻 Electrical Resistivity | >1014 | >1014 | Ω *cm |
杨氏模量 E-Modulus | 320 | 300 | GPa |
项目 | 数值 | 单位 |
---|---|---|
纯度 Purity | 99.99 | % |
O2 含量 O2 Content | OFHC | – |
硬度 Hardness | 60~110 | HV |
导电性 Electrical Conductivity | 58.6 | MS/m |
陶瓷厚度 | AIN (氮化铝) | Si3N4 (氮化硅) |
---|---|---|
0.25mm (毫米) | ✔ 4”* 4” | |
0.32mm | ✔ 5,5”* 7,5” | |
0.38mm | ✔ 5”* 5” | |
0.63mm | ✔ 5,5”* 7,5” | |
1.0mm | ✔ 5,5”* 7,5” |
0.20mm | 0.30mm | 0.50mm | 0.80mm |
铜厚度 | 陶瓷厚度 |
---|
0.20mm | 0.30mm | 0.50mm | 0.80mm | |
---|---|---|---|---|
0.25 mm | AlN | AlN | – | – |
0.32 mm | Si3N4 | Si3N4 | Si3N4 | Si3N4 |
0.38 mm | AlN | AlN | AlN | – |
0.63 mm | AlN | AlN | AlN | – |
1.00 mm | AlN | AlN | AlN |
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铜厚度 COPPER THICKNESS | 间距 SPACINGS | 最小螺距 MIN. PITCH |
---|---|---|
0.20mm | 0.35mm | 0.7mm |
0.30mm | 0.55mm | 0.9mm |
0.50mm | 0.65mm | 1.1mm |
0.80mm | 1.10mm | 2.0mm |
铜厚度 COPPER THICKNESS | 距离 DISTANCE |
---|---|
0.20mm | A≥0.20mm |
0.30mm | A≥0.30mm |
0.50mm | A≥0.40mm |
0.80mm | A≥0.50mm |
距离 |
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M≤0.2mm |
腐蚀系数 |
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F=T/A>2 |
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